一種水處理方法,可除去CMP廢水中所含的溶膠狀微粒以及含氮組分,具體為利用具有凝膠狀的第2過濾器的過濾裝置(13)進(jìn)行過濾處理,除去CMP廢水中的溶膠狀微粒成分。另外通過利用電極(12)進(jìn)行
電化學(xué)處理,可以除去CMP廢水中的含氮組分。這些過濾處理以及電化學(xué)處理,可以使用獨(dú)立的槽進(jìn)行,也可以在同一槽中進(jìn)行。通過在同一槽內(nèi)進(jìn)行過濾處理以及電化學(xué)處理,可以提供節(jié)省空間的水處理裝置。
聲明:
“水處理裝置以及使用該裝置的水處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)