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氯硅烷殘液生產HCl氣體的方法

1041 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 03:31:20

本發(fā)明公開了一種氯硅烷殘液生產HCl氣體的方法，屬于多晶硅行業(yè)氯硅烷殘液資源化的領域。本發(fā)明采用攪拌反應釜和吸收塔連用的方式，氯硅烷殘液在攪拌反應釜中水解，殘液水解產生的H2、HCl氣體和未反應完全的SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2揮發(fā)氣，經過吸收塔充分吸收后，99%以上的氯以氯化氫的形式被吸收下來，尾氣堿洗后達標排放，吸收塔吸收液進入攪拌反應釜作為殘液水解反應吸收劑，濃鹽酸經解析產生的HCl氣體可回到三氯氫硅的合成工序，解析后的稀鹽酸又作為本發(fā)明系統(tǒng)的吸收劑，實現了氯的資源循環(huán)利用。本發(fā)明實現了氯硅烷殘液中氯的有效回收和資源化利用，減少進入后續(xù)污水處理裝置的氯離子的量，降低工廠廢水處理成本。

聲明：

“氯硅烷殘液生產HCl氣體的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)