利用碳化硅固體廢料制備碳化硅陶瓷的方法,選用經(jīng)過(guò)預(yù)處理的硅片切割廢砂漿固體廢料為原料:對(duì)硅片切割廢砂漿進(jìn)行預(yù)處理,取其固體廢料為原料;加入聚碳
硅烷為燒結(jié)助劑,裝入聚胺脂球磨罐中以無(wú)水乙醇為液相介質(zhì),加入甘油作為粘結(jié)劑,用高純度
氧化鋁磨球,球磨;加熱除去溶劑;粉碎過(guò)篩,得到表面涂有聚碳硅烷的碳化硅粉末;在高壓下壓制成各種形狀的預(yù)制體;預(yù)制體從室溫經(jīng)過(guò)50分鐘升溫至1000℃,然后以10℃/分鐘的升溫速率升至1200℃,保溫60分鐘,隨爐冷卻,得到燒結(jié)完成的碳化硅陶瓷制品。本發(fā)明充分利用資源,變廢為寶;采用新配比的燒結(jié)助劑,所需燒結(jié)時(shí)間短、溫度低,降低了能源消耗和制造成本。
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