本發(fā)明提供了一種硅片切割廢砂漿中固體的回收循環(huán)再生利用工藝,首先將硅片切割廢砂漿原料進行固液分離,分離出固體碳化硅(SIC),液體聚乙二醇(PEG)兩塊待處理;其中固體碳化硅經(jīng)過清洗、配漿反應(yīng)、精分、分級、干燥包裝等流程從每噸廢砂漿中可提取30%的符合硅片切割要求的碳化硅微粉。本發(fā)明能夠及時處理硅片切割廠家所產(chǎn)生的砂漿廢料,回收的碳化硅可直接供切割廠家循環(huán)使用,具有較好的經(jīng)濟與社會效益,為節(jié)約能源和環(huán)境保護做出貢獻。
聲明:
“硅片切割廢砂漿中固體的回收循環(huán)再生利用工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)