本發(fā)明公開(kāi)了一種利用固體激光器無(wú)損剝離GaN與藍(lán)寶石襯底的方法,是以固體激光器為激光光源,使用周長(zhǎng)為3~1000微米,且兩個(gè)最遠(yuǎn)角距離或最長(zhǎng)直徑不超過(guò)400微米的小光斑進(jìn)行逐點(diǎn)逐行激光掃描,其中小光斑內(nèi)部的能量分布情況是:光斑中心能量最強(qiáng),向四周能量逐漸變?nèi)?。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了小光斑無(wú)損激光剝離,改進(jìn)了激光剝離掃描方式,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)需對(duì)版的盲打剝離方法,簡(jiǎn)化了激光剝離工藝過(guò)程,提高了效率,降低了廢品率,為激光剝離工藝產(chǎn)業(yè)化掃清了障礙。
聲明:
“利用固體激光器無(wú)損剝離GaN與藍(lán)寶石襯底的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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