公開了一種新型的用來清潔含溶解狀態(tài)的金屬離子,過氧化氫,和高含量固體粒子,如濃度大于約50毫克/升的微粒狀固體粒子的廢水的方法和設備。碳吸收柱除去含高含量固體粒子的廢水進料中的過氧化氫、離子交換單元從溶液中除去金屬離子。該方法和設備從集成電路微
芯片的化學機械拋光(CMP)處理產(chǎn)生的高含量固體粒子的副產(chǎn)物拋光漿中除去金屬離子如銅離子,并生成環(huán)保清潔的排放廢水。
聲明:
“從廢水中離子交換除去金屬離子” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)