本發(fā)明公開了一種對(duì)硅片切削廢液的回收方法,包括以下步驟:(1)對(duì)硅片切削廢液進(jìn)行固液分離,在分離后的液相中,首先加入酸反應(yīng)后,加入氨水調(diào)節(jié)pH值至7~8,加入活性炭脫色,然后經(jīng)過濾除雜,濾液進(jìn)行減壓蒸餾,得到聚乙二醇。(2)對(duì)所述切削廢液固液分離所得的固相先進(jìn)行6~9次水洗,所得水洗液首先調(diào)節(jié)pH值至4~6后過濾,過濾所得固體物料經(jīng)減壓干燥得到硅粉。(3)對(duì)步驟(2)中水洗后的固相分別經(jīng)堿洗和酸洗,所述堿洗在溫度為70~80℃時(shí)進(jìn)行,然后經(jīng)過濾烘干,得到碳化硅微粉。(4)將步驟(2)所得濾液和步驟(3)中所得的洗液和濾液混合后,調(diào)節(jié)pH值至4~6后過濾,所得濾液作為生產(chǎn)用水循環(huán)利用。
聲明:
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