本發(fā)明涉及一種從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復(fù)合晶須的方法,包括以下步驟:將晶硅切割廢料與有機(jī)溶劑、耐高溫?zé)崴苄詷渲靹颍^濾后得到固體廢料;其中,晶硅切割廢料中包括硅、氧化鋯、鐵、聚乙二醇和水;將固體廢料烘干、燒結(jié)后研磨,得到粒徑為1?2μm的原料粉體;其中,原料粉體中包括硅、氧化鋯和鐵;將原料粉體與植物纖維在惰性氣體中進(jìn)行放電等離子燒結(jié),惰性氣體的壓強(qiáng)為100?800Pa,在1100?1600℃下反應(yīng)10?40min,得到碳化硅和氧化鋯復(fù)合晶須。本發(fā)明的方法料取自工業(yè)廢料,其回收利用可以降低環(huán)境污染,在制備高強(qiáng)度碳化硅和氧化鋯復(fù)合晶須的同時(shí)可以獲得氧化鋯磨料,該方法工藝簡單、制備效率高、成本較低。
聲明:
“從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復(fù)合晶須的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)