本實(shí)用新型涉及一種硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng),所述硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng)包括:A)與工作槽相連通以接收工作槽中的蝕刻廢水從而分離出固體Si和殘余廢液的固液分離裝置;B)用于接收所述殘余廢液的酸再生與硅再生系統(tǒng),所述酸再生與硅再生系統(tǒng)與所述固液分離裝置相連通;C)與所述酸再生與硅再生系統(tǒng)相連通以接收所述酸再生與硅再生系統(tǒng)導(dǎo)出的含固體Si、氣體HF及多余H2SiF6溶液的混合物的減壓蒸餾裝置,所述減壓蒸餾裝置還與所述固液分離裝置相連通;及D)與所述減壓蒸餾裝置以及工作槽相連通的酸性吸收塔。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了硅晶片蝕刻廢水循環(huán)利用,從而減少酸腐蝕溶液的消耗,消除酸腐蝕廢液的產(chǎn)生并避免有毒廢氣的排放,從而提供保護(hù)環(huán)境并提高了經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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