本實(shí)用新型提供了一種廢氣處理裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備,一方面能夠利用電漿反應(yīng)器將工業(yè)廢氣轉(zhuǎn)化為固體生成物,并進(jìn)一步通過固體生成物收集器收集重量較大的固體生成物,另一方面還能夠通過增設(shè)的靜電
除塵器來捕獲重量較輕且?guī)щ姷墓腆w生成物,從而避免細(xì)小粉塵進(jìn)入到殘氣排放器的排氣管道中,可以防止排放殘余氣體的排氣管道及其連接的真空抽氣泵堵塞,進(jìn)而有效避免產(chǎn)品缺陷以及異常報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。
聲明:
“廢氣處理裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)