本發(fā)明公開了一種的廢棄氮化硅回收提純的方法,得到的高純氮化硅可用于石英坩堝涂層、耐火材料等。本發(fā)明的具體內(nèi)容為:以廢棄石英坩堝內(nèi)表面的氮化硅涂層為氮化硅原料,含有少量的二氧化硅與單質(zhì)硅及微量的金屬等雜質(zhì);氮化硅原料經(jīng)球磨粉碎后,采用高梯度磁選去除金屬雜質(zhì),反
浮選去除二氧化硅,高溫氮化單質(zhì)硅成氮化硅,得到高純氮化硅。本發(fā)明的方法實(shí)現(xiàn)了廢棄石英坩堝內(nèi)表面氮化硅涂層的高純回收利用,不僅節(jié)約了資源,還解決了固體廢棄物的污染問題。
聲明:
“廢棄氮化硅回收提純的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)