本發(fā)明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法,將硅片切割廢砂漿與水混合后進(jìn)行第一級(jí)固液分離,將第一級(jí)固體顆粒經(jīng)水稀釋后進(jìn)行第二級(jí)固液分離,將第二級(jí)懸浮液回用于上述混合,將第二級(jí)固體顆粒經(jīng)第一級(jí)水洗后進(jìn)行第三級(jí)離心分離,將第三級(jí)離心液回用于上述稀釋,將第三級(jí)離心固體顆粒經(jīng)第二級(jí)水洗后進(jìn)行第四級(jí)離心分離,將第四級(jí)離心液回用于第一級(jí)水洗,將第四級(jí)離心固體顆粒經(jīng)干燥、篩選后得到碳化硅;將第一級(jí)懸浮液進(jìn)行過濾、脫色和樹脂交換后,依次進(jìn)行減壓蒸餾和薄膜蒸發(fā),得到聚乙二醇切割液、減壓蒸餾水和薄膜蒸發(fā)水,所述減壓蒸餾水用于第二級(jí)水洗,所述薄膜蒸發(fā)水用于第一級(jí)水洗。該回收方法顯著降低污水的污染程度,利于環(huán)保。
聲明:
“硅片切割廢砂漿中碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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