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物理法回收硅片切割廢砂漿中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法

1129   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:46:54
本發(fā)明公開(kāi)了一種物理法回收硅片切割廢砂漿中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法,包括以下步驟:A1、將廢硅片切割液用去離子水稀釋至含水量50%,攪拌均勻,進(jìn)行固液分離;A2、將步驟A1分離下來(lái)的固體物料按照溢流罐實(shí)際裝填量裝入溢流罐,稀釋至含水量50%,同時(shí)啟動(dòng)超聲波換能器機(jī)組、攪拌裝置;充分?jǐn)嚢杈鶆蚝笸V箶嚢?,超聲波換能器機(jī)組繼續(xù)運(yùn)行直到把所有晶硅粉溢流完畢方可停機(jī);超聲波換能器機(jī)組運(yùn)行過(guò)程中,打開(kāi)溢流罐進(jìn)水閥,進(jìn)行溢流;A3、溢流罐1中沉淀下來(lái)的碳化硅微粉進(jìn)入甩干機(jī),進(jìn)入閃蒸式干燥機(jī)烘干,再經(jīng)過(guò)超聲波振動(dòng)篩將大顆粒篩掉,包裝后即可得到成品碳化硅微粉。加工、操作、控制、使用的簡(jiǎn)便,環(huán)境污染的治理或根治。
聲明:
“物理法回收硅片切割廢砂漿中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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