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Ⅲ族氮化物晶體的生長方法

771   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 04:54:26
一種Ⅲ族氮化物晶體的生長方法,包括以下步驟:把C片、固體的Ga-Na源材料及籽晶一起放于反應(yīng)釜的坩堝中,密封反應(yīng)釜,將反應(yīng)釜加壓升溫至預(yù)定的過渡條件;Ga-Na源材料由固體變?yōu)镚a-Na溶液,C片由于密度小于Ga-Na溶液而漂浮在氣液界面,同時C片開始在Ga-Na溶液上部區(qū)域緩慢溶解,使得Ga-Na溶液上部區(qū)域處于高C濃度氛圍下;對反應(yīng)釜繼續(xù)加壓升溫,加壓升溫至預(yù)定的生長條件(700~1000℃,1~50MPa),籽晶處開始GaN單晶生長;GaN單晶達(dá)到目標(biāo)厚度后,對反應(yīng)釜降溫降壓并排除廢液并取出晶體。本發(fā)明通過抑制N與Ga的結(jié)合,阻止GaN多晶的形成,提高了GaN單晶的生長速率。
聲明:
“Ⅲ族氮化物晶體的生長方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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