本發(fā)明屬于化工產(chǎn)品制備領(lǐng)域，尤其涉及一種電子級(jí)硫酸制備裝置及其制備方法。該裝置包括預(yù)處理池，該預(yù)處理池內(nèi)盛裝強(qiáng)氧化劑，強(qiáng)氧化劑包括高錳酸鉀和重鉻酸鉀，用于氧化工業(yè)硫酸原料中的還原性雜質(zhì)；精餾塔內(nèi)部溫度為185?195℃，壓力為1.45?2.23kPa，用于去除預(yù)處理池中氧化反應(yīng)生成的硫酸鹽雜質(zhì)，得到高純度硫酸；吸收處理塔，吸收處理塔內(nèi)設(shè)有堿性溶液，用于吸收中和精餾塔中產(chǎn)生的酸性廢氣；過濾器內(nèi)設(shè)有微孔濾膜，可將高純度硫酸中的微細(xì)固體顆粒雜質(zhì)濾除。本發(fā)明成本較低，具有良好的除雜凈化效率，同時(shí)對(duì)制備的過程中生成的酸霧廢氣進(jìn)行有效且高效的凈化吸收，降低對(duì)環(huán)境的污染，提高生產(chǎn)效率。