本發(fā)明公開了一種聚甲基三乙氧基硅烷反應(yīng)尾氣的吸收利用方法，包括如下步驟：(a)檢查反應(yīng)裝置；(b)加熱反應(yīng)塔；(c)醇解反應(yīng)；(d)預(yù)熱尾氣；(e)尾氣吸收。本發(fā)明提高了反應(yīng)收率，縮短了反應(yīng)時間，原來跑掉去尾氣吸收系統(tǒng)被轉(zhuǎn)化成固體的那部分原料，最終都轉(zhuǎn)化成了產(chǎn)品，設(shè)備管道和吸收塔不再堵塞，運轉(zhuǎn)率和吸收效率大大提高，尾氣吸收后制成的鹽酸純度大大提高，接近于正品鹽酸，變廢為寶，以實現(xiàn)零排放，對提高聚甲基三乙氧基硅烷合成技術(shù)水平和環(huán)境保護(hù)具有重要意義。