一種鋁電解及微電子工業(yè)產(chǎn)生的碳氟化合物的分解方法,屬廢氣處理領(lǐng)域。本發(fā)明按照以下步驟進行:(1)將固體金屬放入一個坩堝內(nèi),通過真空系統(tǒng)將反應器內(nèi)空氣抽盡,通入保護氣體氬氣后進行加熱,加熱到預定溫度;(2)當溫度升至預定溫度后,通過真空系統(tǒng)抽出保護性氣體,并通入待分解的PFCs氣體,密閉反應條件下進行反應,反應時間為:30~40分鐘;將反應器冷卻到室溫后,取出反應物,坩堝內(nèi)反應產(chǎn)物自然分層,得到可回收利用的碳和金屬氟化物、氯化物。本發(fā)明實現(xiàn)了處理PFCs的零排放,降低了能耗和處理成本。而且整個處理流程短,過程簡單,加上反應條件不是很苛刻,對反應器的要求也不是很高,這樣也可以降低設備的費用。
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