本發(fā)明提供了一種節(jié)能半導(dǎo)體新材料砷化鎵生產(chǎn)廢水的處理工藝，屬于廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，廢液經(jīng)過均質(zhì)后調(diào)節(jié)pH至堿性，而后經(jīng)過兩次高級氧化、生化處理、混凝沉淀、軟化過濾、RO膜濃縮以及MVR蒸發(fā)濃縮，形成淡水和固廢，采用本發(fā)明處理廢水，節(jié)約了藥劑投加量和運行成本，形成的淡水中的砷含量≤0.01mg/L，氟含量≤1mg/L，總磷含量≤0.2mg/L，其它水污染物排放能夠達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838?2002)III類水質(zhì)標準，可回用于綠化灌溉或直接外排。