本實用新型涉及
太陽能電池片制造技術領域,尤其涉及一種用于晶體硅太陽能超凈車間擴散爐的石英管內的廢氣的排廢管。其包括直管,所述直管一端連接有第一半球形管,另一端伸入擴散爐廢氣口,所述直管中部還設有第二半球形管與擴散爐廢氣口相連,且第二半球形管的尾部與直管之間存在縫隙,所述第二半球形管的尾部設置有供氣體輸入的導氣管,所述導氣管與直管之間的夾角α大于等于30°小于等于90°。本實用新型能夠減少偏磷酸在排廢管處凝結,與傳統(tǒng)的硅片尾氣排廢管相比,解決了排廢管的腐蝕斷裂,增加了排廢管的使用壽命,減少了人員的工作勞動,有利于提高設備的正常運行率,同時也有利于降低偏磷酸對人體的危害。
聲明:
“排廢管” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)