一種針對工業(yè)廢水進(jìn)行深度處理的裝置，包括廢水池、自清洗過濾器、臭氧催化氧化塔、臭氧分解塔、氣浮分離機(jī)、MBR反應(yīng)器和清水池；流化床式臭氧催化氧化反應(yīng)器的出水口與氣浮分離機(jī)的進(jìn)水口連通，氣浮分離機(jī)的液體排放口與MBR反應(yīng)器相連通；氣浮分離機(jī)底部的固體排放口連接有射流器，臭氧分解塔內(nèi)設(shè)有回流，射流器設(shè)于回流循環(huán)泵的出口管路與臭氧催化氧化塔的進(jìn)水口之間。本實(shí)用新型在降解COD和氨氮的同時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)脫色、除味和殺菌的目的，能夠保證出水全面達(dá)標(biāo)；“動(dòng)態(tài)流化床+水固兩相循環(huán)”結(jié)構(gòu)，大大提高了臭氧的利用效率，降低了噸水的臭氧投加量，降低了噸水投資與運(yùn)行成本，同時(shí)處理過程清潔溫和，幾乎不會(huì)產(chǎn)生二次污染和危險(xiǎn)廢物。