本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體前段設(shè)備模組的排氣裝置,包括:集氣箱,設(shè)置于廢氣源的下方,集氣箱的頂部設(shè)置有開口面,集氣箱的內(nèi)部經(jīng)由開口面與廢氣源相連通,其中所述廢氣源包含半導(dǎo)體前段設(shè)備模組;排氣管路,設(shè)置于集氣箱底部或側(cè)面,且所述排氣管路的一端與集氣箱內(nèi)部相連通。本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體前段設(shè)備模組的排氣裝置,通過引入設(shè)置于半導(dǎo)體前段設(shè)備模組下方的集氣箱,并將廢氣從排氣管路排出,避免了因有毒廢氣泄露而對(duì)周邊環(huán)境造成的危害;此外,還在半導(dǎo)體前段設(shè)備模組內(nèi)產(chǎn)生垂直向下的氣流,減少了半導(dǎo)體前段設(shè)備模組內(nèi)因渦流產(chǎn)生的顆粒污染,提高了晶圓良率。
聲明:
“半導(dǎo)體前段設(shè)備模組的排氣裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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