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冷阱裝置、尾氣處理系統(tǒng)及半導體生產設備

855 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 05:40:00

本實用新型提供一種冷阱裝置、尾氣處理系統(tǒng)及半導體生產設備。冷阱裝置可以用于對從反應腔室排出的尾氣進行預處理。冷阱裝置包括罐體及位于罐體上的冷卻管路，罐體包括罐體上部的冷卻區(qū)，其冷卻區(qū)頂部設置有進氣口且進氣口與反應腔室相連接；罐體還包括位于罐體下部的沉淀區(qū)，沉淀區(qū)側壁設置有排氣口和排氣口。采用本實用新型的冷阱裝置能避免粉塵沉積在抽氣裝置上造成抽氣裝置停機，減少抽氣裝置和尾氣處理裝置的廢氣處理量且延長設備清洗保養(yǎng)周期以降低生產成本；尾氣處理系統(tǒng)能快速高效地處理各種廢氣以降低對環(huán)境的危害，且結構簡單，成本低廉；采用本實用新型的半導體生產設備，能減少保養(yǎng)頻率，有效降低生產成本。

聲明：

“冷阱裝置、尾氣處理系統(tǒng)及半導體生產設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)