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一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器

740   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 05:57:19
本發(fā)明提供一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器,涉及粉塵過濾器技術(shù)領(lǐng)域。該裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器,包括過濾器外殼,所述過濾器外殼的內(nèi)部活動安裝有腔體,所述腔體的左側(cè)外表面連通有進氣管,所述進氣管的外表面固定安裝有第一氣泵,所述腔體的一側(cè)設(shè)置有集塵槽,所述集塵槽的內(nèi)部固定安裝有靜電吸附板。該裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器,很好地對廢氣中的粉塵進行了過濾,并對粉塵進行收集,防止粉塵對設(shè)備內(nèi)部和外部造成污染,以及對人體造成危害,能夠?qū)瘔m槽內(nèi)部的粉塵進行集中清理,以及便于對該粉塵過濾器進行維護檢修,拆裝簡單便捷。
聲明:
“一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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