本發(fā)明提出一種集成梳狀靜電預(yù)加載的微納材料力學(xué)性能檢測結(jié)構(gòu)，包括后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)和集成梳狀靜電式預(yù)加載結(jié)構(gòu)，其中，集成梳狀靜電式預(yù)加載結(jié)構(gòu)在其內(nèi)部成對的集成梳狀結(jié)構(gòu)上加載電壓后能夠利用靜電作用力引發(fā)變形以實施預(yù)加載，當(dāng)集成梳狀靜電式預(yù)加載結(jié)構(gòu)未實施預(yù)加載時，后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)處于無加載狀態(tài)，當(dāng)集成梳狀靜電式預(yù)加載結(jié)構(gòu)實施預(yù)加載時，后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)被軸向壓縮，處于預(yù)加載屈曲平衡狀態(tài)，然后后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)受到試件的軸向微力作用，使后屈曲式微力檢測結(jié)構(gòu)發(fā)生放大的橫向結(jié)構(gòu)變化，從而實現(xiàn)微力檢測。本發(fā)明具有尺寸小、穩(wěn)定可靠，可重復(fù)使用，對軸向微力敏感，力分辨率高，橫向變形可控制等優(yōu)點。