本發(fā)明涉及一種晶圓的編帶方法、系統(tǒng)和設(shè)備,所述方法包括:獲取晶圓的基圖和晶片晶圓體的排列順序;將晶片晶圓體的排列順序與預(yù)設(shè)的晶片晶圓體的排列順序進(jìn)行比對(duì),確定不同種類的晶片晶圓體;基于晶片晶圓體的不同種類,對(duì)晶片晶圓體標(biāo)記不同的編號(hào);對(duì)已經(jīng)標(biāo)記編號(hào)的晶片晶圓體對(duì)應(yīng)的晶圓進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)和電性能檢測(cè);根據(jù)晶圓的光學(xué)檢測(cè)結(jié)果和晶圓的電性能檢測(cè)結(jié)果,篩選出合格的晶片晶圓體;將合格的晶片晶圓體按照標(biāo)記的編號(hào),切割成不同編號(hào)的預(yù)制晶圓;將預(yù)制晶圓按照標(biāo)記的編號(hào),封裝成不同編號(hào)的
芯片;將芯片按照標(biāo)記的編號(hào),編帶成不同編號(hào)的卷盤;本發(fā)明能夠縮短后續(xù)檢測(cè)、封裝和卷盤的過(guò)程中分選時(shí)間,節(jié)約成本。
聲明:
“一種晶圓的編帶方法、裝置和設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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