本發(fā)明公開了一種深紫外退偏器檢測裝置及檢測方法。高端光刻機(jī)工作波長位于深紫外波段,可選用光學(xué)材料非常稀少,許多其他波段常用的偏振器件難以加工,這給退偏器的性能檢測帶來了困難。本裝置中,單色光源發(fā)出的光依次通過布儒斯特起偏鏡、待測退偏器和布儒斯特檢偏系統(tǒng)。布儒斯特檢偏系統(tǒng)包含布儒斯特檢偏鏡和探測器,由探測器記錄出射強(qiáng)度。起偏和檢偏鏡的表面為平面,光以布儒斯特角入射,獲得線偏反射光。由記錄的出射光強(qiáng)度的最大值和最小值,可得到退偏光的偏振度,從而反映了退偏器的退偏性能。本發(fā)明提供的一種深紫外退偏器檢測裝置及檢測方法具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、光路簡潔、元部件易生產(chǎn)制造等特點(diǎn),滿足了深紫外退偏器的檢測需要。
聲明:
“一種深紫外退偏器檢測裝置及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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