本發(fā)明公開了一種室溫氫氣傳感器,具體涉及表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列氫敏元件的制備與性能檢測。本發(fā)明所述的氫敏元件的制備方法為:將裁剪合適的高純度工業(yè)用Ti箔片經(jīng)嚴格清洗后置于氟化銨和乙二醇水溶液中陽極氧化處理3h,制備出表面均勻、高度有序的TiO2納米管陣列。采用表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列作為氫敏元件,提高了傳感器靈敏度、響應(yīng)速度,降低了工作溫度。
聲明:
“一種表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列室溫氫氣傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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