本發(fā)明公開了一種石英鍍膜擺片性能測試裝置,包括測試平臺、定位架及顯微鏡測試系統(tǒng),所述定位架與顯微鏡測試系統(tǒng)固設(shè)于所述測試平臺上。本發(fā)明主要是通過改進(jìn)傳統(tǒng)的接觸性測量為非接觸型光學(xué)輔助性測量,將非精確性測量改進(jìn)為精確性測量,為擺片在靜態(tài)下的下垂量提供了準(zhǔn)確的測試數(shù)值,并通過有關(guān)數(shù)學(xué)公式將比剛度準(zhǔn)確地反映出來。該性能測試裝置主要用于對慣性導(dǎo)航器件石英撓性加速度計中的重要零件進(jìn)行性能檢測和質(zhì)量篩選工作。為鍍膜擺片能更好地應(yīng)用在石英撓性加速度計上提供了可靠的性能保障,避免了因為鍍膜擺片性能超差而造成的石英撓性加速度計在裝配完成之后無法通過例試試驗。
聲明:
“一種石英鍍膜擺片性能測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)