本發(fā)明涉及一種
鈣鈦礦薄膜的蒸發(fā)設(shè)備及其使用方法和應(yīng)用,包括分開(kāi)設(shè)置的蒸發(fā)系統(tǒng)和沉積系統(tǒng),蒸發(fā)系統(tǒng)和沉積系統(tǒng)通過(guò)蒸汽通道相互連通,蒸發(fā)系統(tǒng)包括沉積腔體,在沉積腔體內(nèi)設(shè)置有放置待沉積基板的沉積支架,在沉積腔體的蒸汽通道進(jìn)入口與待沉積基板之間設(shè)置有網(wǎng)篩,在網(wǎng)篩上設(shè)置有多個(gè)便于蒸汽通過(guò)的通孔,蒸發(fā)系統(tǒng)蒸發(fā)的蒸汽通過(guò)蒸汽通道進(jìn)入沉積腔體,并經(jīng)過(guò)網(wǎng)篩的通孔后均勻地分布在待沉積基板的表面上。本發(fā)明將蒸發(fā)系統(tǒng)和沉積系統(tǒng)分置于不同的腔室,且可以單獨(dú)控制蒸發(fā)系統(tǒng)和基板所在沉積系統(tǒng)的腔室溫度。另一方面,在沉積腔體里設(shè)置了網(wǎng)篩,使進(jìn)入沉積腔體的蒸汽均勻分布,使每個(gè)基板接觸到的氣流相同,改善了成膜質(zhì)量。
聲明:
“鈣鈦礦薄膜的蒸發(fā)設(shè)備及其使用方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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