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一種基板檢測系統(tǒng)及檢測方法

940   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:32:22
本發(fā)明公開了一種基板檢測系統(tǒng)及檢測方法,包括:檢測機(jī)構(gòu);轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu),包括轉(zhuǎn)盤和定位基板的定位工裝,定位工裝數(shù)量有多個(gè)且沿著轉(zhuǎn)盤的周向分布在轉(zhuǎn)盤上;輸送機(jī)構(gòu),被配置成將待檢測的基板輸向轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)以及接收檢測后合格的基板,并將其輸離轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu);搬運(yùn)機(jī)構(gòu),包括將基板自輸送機(jī)構(gòu)移至轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)上的上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、將基板自轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)移至輸送機(jī)構(gòu)的下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、以及位于上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)之間的復(fù)測切換機(jī)構(gòu),復(fù)測切換機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)基板在上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)間往返。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)基板的自動(dòng)搬運(yùn)、檢測、復(fù)測,減少了人工勞動(dòng),有效提高了檢測效率。
聲明:
“一種基板檢測系統(tǒng)及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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