本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相反應(yīng)過程動態(tài)在線分析系統(tǒng),其特征在于:包括磁懸浮天平、紅外熱成像儀、色譜儀和質(zhì)譜儀,磁懸浮天平固定在氣相反應(yīng)爐的正上方,磁懸浮天平的掛鉤通過金屬繩與基體連接,在氣相反應(yīng)爐的底部固連一單晶鍺,紅外熱成像儀的攝影頭透過單晶鍺與基體相向放置,出氣口上依次串聯(lián)有分子泵和六通閥,氣相色譜儀通過六通閥與氦氣源連通,在六通閥后,通過第一電磁閥和第二電磁閥并聯(lián)有質(zhì)譜儀和
真空泵。由于利用磁懸浮天平和紅外熱成像儀,在化學(xué)氣相滲透過程中實現(xiàn)了基體的重量和溫度變化實時測量,為研究化學(xué)氣相反應(yīng)過程機理提供了翔實的數(shù)據(jù)。氣相色譜儀和質(zhì)譜儀可同時對尾氣進行監(jiān)測。
聲明:
“化學(xué)氣相反應(yīng)過程動態(tài)在線分析系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)