本發(fā)明提供一種決定過度研磨時間的方法,包含步驟有:將予以研磨的多個特性送入化學(xué)機械研磨系統(tǒng)中,進行研磨以取得各別的過度研磨時間與終點檢測時間;相關(guān)所得過度研磨時間與終點檢測時間,推導(dǎo)出一最佳化公式,并且,將該最佳化公式存入該化學(xué)機械研磨系統(tǒng)中;及將所予進行研磨之特性的厚度輸入,即可取得精確的過度研磨時間。
聲明:
“決定化學(xué)機械研磨的過度研磨時間的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)