一種化學(xué)氣相沉積裝置,其包含有一加熱支撐座(heating holder)設(shè)置于一反應(yīng)室內(nèi),一淋氣頭(shower head)平行設(shè)置于該加熱支撐座的上方,且該加熱支撐座與該淋氣頭構(gòu)成一電容,以及一反應(yīng)室狀態(tài)檢測裝置(chamber condition detector),分別與該加熱支撐座與該淋氣頭電連接,該反應(yīng)室狀態(tài)檢測裝置包含有一電阻,且該電阻與該電容串聯(lián)構(gòu)成一RC電路。