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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法

1115 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 06:44:52

本發(fā)明公開了一種亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法，包括如下步驟：1)記錄腔體基準壓力；2)設定載氣流量為固定值，設定腔體壓力為固定值，待載氣流量穩(wěn)定后，記錄節(jié)流閥的位置A；3)將節(jié)流閥所開的位置設定在位置A上，保持載氣流量為設定的固定值，腔體壓力須在設定的固定值附近；4)分別流入TEOS液體流量，并記錄腔體壓力；5)計算各TEOS流量下腔體壓力和腔體基準壓力的差值；6)繪制TEOS流量和腔體壓差的變化示意圖，正常的TEOS流量和腔體壓差變化為一條直線，由此判斷不正常情況下的氣化閥堵塞。本發(fā)明通過TEOS流量和腔體壓力差的線性關系來檢測氣化閥的狀況，可更高效及時地發(fā)現氣化閥堵塞問題。

聲明：

“亞常壓化學氣相沉積法設備氣化閥堵塞的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)