本發(fā)明提供了一種
電化學(xué)敏感元件、其制備方法、應(yīng)用其的地震檢波器。該電化學(xué)敏感元件采用兩層硅片分別制作電極與流道結(jié)構(gòu),使得制作電極的硅片上可以正反兩面都制作出電極結(jié)構(gòu),在參數(shù)一樣的情況下,電極的有效面積增大一倍,從而電化學(xué)敏感元件的靈敏度也將增大一倍。
聲明:
“電化學(xué)敏感元件、其制備方法、應(yīng)用其的地震檢波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)