本實(shí)用新型公開了一種基于化學(xué)氣相沉積設(shè)備監(jiān)測用測漏儀,包括儀器主體、數(shù)據(jù)連接座和金屬連接管,儀器主體的頂端設(shè)置有數(shù)據(jù)連接座,儀器主體的兩側(cè)均設(shè)置有防滑結(jié)構(gòu),數(shù)據(jù)連接座的內(nèi)部安裝有金屬連接管,金屬連接管的一端固定連接有氣體檢測頭。本實(shí)用新型通過設(shè)置有緊固結(jié)構(gòu),當(dāng)金屬連接管的另一端插入數(shù)據(jù)連接座的內(nèi)部后,將緊固抱箍套在限位槽的外側(cè)隨后擰緊緊固抱箍,由于數(shù)據(jù)連接座被分割槽所分割在緊固抱箍擰緊后數(shù)據(jù)連接座逐漸合攏,并使數(shù)據(jù)連接座對(duì)插入的金屬連接管進(jìn)行擠壓與夾持,進(jìn)而使金屬連接管的另一端在插入數(shù)據(jù)連接座的內(nèi)部不易出現(xiàn)脫落或松動(dòng)現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)了對(duì)金屬連接管的連接加固。
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“基于化學(xué)氣相沉積設(shè)備監(jiān)測用測漏儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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