一種化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置包括:電動(dòng)機(jī);逆變器;控制電路,控制逆變器輸出的交流電流及工作與否;轉(zhuǎn)速傳感器,將電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換為轉(zhuǎn)速信號(hào)并輸出至控制電路;電流探測器,檢測電動(dòng)機(jī)的交流電流,并且輸出電流信號(hào)至中繼控制器,中繼控制器因此向機(jī)械研磨控制器輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào),機(jī)械研磨控制器因此輸出停機(jī)信號(hào)至控制電路。使得能及時(shí)探測到晶片在研磨的過程中發(fā)生刮傷或破裂的情況,以減少晶片因研磨受損的數(shù)量。
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