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金屬膜厚測(cè)量方法和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

764   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:47:31
本發(fā)明公開了一種金屬膜厚測(cè)量方法和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，其中方法包括：利用電渦流傳感器測(cè)量晶圓表面的金屬薄膜的厚度，所述電渦流傳感器包括依次疊放的檢測(cè)線圈、激勵(lì)線圈和補(bǔ)償線圈；獲取所述電渦流傳感器的輸出電壓得到特征值，所述特征值等于輸出電壓的實(shí)部與虛部的比值，所述特征值與被測(cè)金屬膜厚呈線性關(guān)系；根據(jù)所述特征值確定被測(cè)金屬膜厚。
聲明：
“金屬膜厚測(cè)量方法和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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