本發(fā)明公開了一種高精密腔臭氧光化學(xué)凈生成速率的測量系統(tǒng)和方法，其中系統(tǒng)包括光化學(xué)反應(yīng)模塊、與光化學(xué)反應(yīng)模塊相連的供有一氧化氮標(biāo)氣的臭氧轉(zhuǎn)化模塊以及與臭氧轉(zhuǎn)化模塊相連的高精密腔二氧化氮與臭氧濃度之和的測量模塊；基于高精密腔二氧化氮與臭氧濃度之和的測量系統(tǒng)，通過與光化學(xué)反應(yīng)模塊以及臭氧轉(zhuǎn)化模塊結(jié)合，控制兩個(gè)光化學(xué)反應(yīng)管中的自由基化學(xué)過程，分別獲得發(fā)生自由基化學(xué)與不發(fā)生自由基化學(xué)的臭氧與二氧化氮濃度之和，用差值的方式計(jì)算獲得僅僅由自由基化學(xué)所產(chǎn)生的臭氧量，由差分臭氧量除以通過光化學(xué)反應(yīng)模塊的平均停留時(shí)間獲得臭氧光化學(xué)凈生成速率，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，容易操作，而且測量準(zhǔn)確性高，能夠得到廣泛地應(yīng)用。