本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種機(jī)械與化學(xué)交互作用測量裝置,包括機(jī)架、摩擦力測量部分、杠桿加載部分、往復(fù)直線運(yùn)動的氮化硅小球和三電極部分。本發(fā)明的裝置可以模擬腐蝕條件下的磨粒磨損性能,實(shí)現(xiàn)了同時在線測量
電化學(xué)參數(shù)和機(jī)械參數(shù);可以測量化學(xué)機(jī)械拋光過程中單純的化學(xué)腐蝕量、機(jī)械磨損量以及交互作用去除量,從而對化學(xué)機(jī)械拋光過程中的材料去除機(jī)理進(jìn)行研究。
聲明:
“機(jī)械與化學(xué)交互作用測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)