本發(fā)明提供化學(xué)溶液的顆粒監(jiān)測(cè)裝置，包括：化學(xué)溶液供給裝置，用于收容化學(xué)溶液，根據(jù)控制部的作業(yè)開始信號(hào)供給上述化學(xué)溶液；第一供給流路，與上述化學(xué)溶液供給裝置相連接，用于供給上述化學(xué)溶液；過濾器，與上述第一供給流路相連接，用于凈化上述化學(xué)溶液；分支流路及主流路，從上述過濾器分支而出；排液閥，與上述分支流路相連接，用于開閉上述分支流路；顆粒監(jiān)測(cè)器，與上述主流路相連接，用于監(jiān)測(cè)上述化學(xué)溶液的顆粒量；以及分配器部，從上述顆粒監(jiān)測(cè)器接收上述化學(xué)溶液，來向作業(yè)對(duì)象物供給上述化學(xué)溶液，上述顆粒監(jiān)測(cè)器與分配器部通過第二供給流路相連接，在上述第二供給流路設(shè)置控制閥，上述控制閥用于對(duì)從上述顆粒監(jiān)測(cè)器供給到分配器部的上述化學(xué)溶液的供給進(jìn)行控制。