本實用新型涉及脈沖激光沉積鍍膜領(lǐng)域,公開了一種在線測量PLD薄膜化學(xué)計量比及各成分質(zhì)量的裝置,包括:脈沖沉積(PLD)鍍膜系統(tǒng),激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)測量系統(tǒng),石英晶體微天平(QCM)測量系統(tǒng)。本實用新型基于脈沖激光沉積鍍膜技術(shù)、激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)、石英晶體微天平測膜厚技術(shù),能實時原位在線測量脈沖激光沉積鍍膜薄膜化學(xué)計量比及各成分質(zhì)量,且不會對鍍膜過程有干擾,并且搭建簡單,易于操作;適用于脈沖激光沉積鍍膜領(lǐng)域。
聲明:
“在線測量PLD薄膜化學(xué)計量比及各成分質(zhì)量的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)