本發(fā)明提供能在線(xiàn)定量地分析大氣微粒的各化學(xué)組成的質(zhì)量濃度的微粒組成分析方法及微粒組成分析裝置。該微粒組成分析方法在使氣體試樣中的微粒的粒子束聚焦，并將該粒子束照射到捕捉體的狹小的區(qū)域而捕捉到所述微粒之后，對(duì)所述狹小的區(qū)域集中照射能量線(xiàn)來(lái)使由所述捕捉體捕捉到的微粒汽化、升華或反應(yīng)以生成脫離成分，從而來(lái)對(duì)所述脫離成分進(jìn)行分析，其中所述捕捉體具有用于將剩余的氣相成分去除并捕捉所述粒子束中的微粒的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體。另外，為了進(jìn)行該微粒組成分析方法還構(gòu)成微粒組成分析裝置(50)，其至少包括：減壓室(11a～11c)；微粒的粒子束生成器(1)；具有用于捕捉微粒的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體的捕捉體(7)；能量線(xiàn)供給器(5)；捕捉體保持容器(17)；與所述捕捉體保持容器連接的導(dǎo)管(8)；以及用于分析微粒的脫離成分的分析器(10)。