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用于化學機械拋光的拋光墊厚度的監(jiān)測

776 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:49:13

一種用于化學機械拋光的裝置包括：壓板，所述壓板具有表面以支撐拋光墊；承載頭，所述承載頭用以保持基板抵靠拋光墊的拋光表面；墊調(diào)節(jié)器所述墊調(diào)節(jié)器包括要抵靠拋光表面上被按壓的導電體；原位拋光墊厚度監(jiān)測系統(tǒng)，所述原位拋光墊厚度監(jiān)測系統(tǒng)包括傳感器，所述傳感器設置在壓板中用以產(chǎn)生通過拋光墊的磁場；以及控制器，所述控制器經(jīng)配置以從監(jiān)測系統(tǒng)接收信號并基于對應于傳感器在墊調(diào)節(jié)器的導電體下方的時間的信號的一部分來生成拋光墊厚度的測量。

聲明：

“用于化學機械拋光的拋光墊厚度的監(jiān)測” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)