本發(fā)明公開了一種可固體進(jìn)樣的微波等離子體原子發(fā)射光譜法及系統(tǒng)。本發(fā)明方法的步驟為：(1)取已知元素含量的標(biāo)準(zhǔn)固體樣品，直接作為對(duì)照品或壓片后得到對(duì)照品；(2)取待測(cè)固體樣品，按照步驟(1)相同的方法，得到供試品；(3)分別將對(duì)照品和供試品用本發(fā)明微波等離子體光譜儀進(jìn)行檢測(cè)；根據(jù)對(duì)照品檢測(cè)結(jié)果，選取元素特征譜線；并繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線，并根據(jù)供試品中各譜線位置和/或強(qiáng)度計(jì)算得到供試品中各元素的種類和/或含量。本發(fā)明還公開了一種微波等離子體原子發(fā)射光譜儀，它包括微波等離子體系統(tǒng)、氣體傳輸系統(tǒng)、樣品承載系統(tǒng)、信號(hào)收集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)。本發(fā)明測(cè)試方法操作簡(jiǎn)單，分析速度快，避免化學(xué)試劑使用，對(duì)環(huán)境友好。