本發(fā)明公開了一種摻雜元素對(duì)HfO2鐵電薄膜疇結(jié)構(gòu)影響的相場(chǎng)分析方法。該方法包括建立極化序參量的總能量方程;基于所述總能量方程建立基于摻硅元素影響的力場(chǎng)控制方程、極化場(chǎng)控制方程和電場(chǎng)控制方程;基于摻雜元素的化學(xué)能和梯度能建立摻雜元素能量方程;基于所述摻雜元素能量方程建立濃度場(chǎng)控制方程;根據(jù)所述力場(chǎng)控制方程、極化場(chǎng)控制方程、電場(chǎng)控制方程和濃度場(chǎng)控制方程建立鐵電薄膜的相場(chǎng)計(jì)算模型;基于所述相場(chǎng)計(jì)算模型,通過調(diào)整摻雜元素的濃度和分布方式模擬所述HfO2鐵電薄膜的相變規(guī)律。該方法通過引入摻雜元素的摻雜元素能量方程,使得HfO2鐵電薄膜的相場(chǎng)計(jì)算模型能夠?yàn)閾诫s元素的濃度和分布方式提供優(yōu)化指導(dǎo)。
聲明:
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