微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積中功率-氣壓-溫度耦合方法,它涉及微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的改進(jìn)方法。本發(fā)明要解決現(xiàn)有的MPCVD技術(shù)制備金剛石薄膜過程中,由于基體溫度、功率密度和沉積氣壓對于制備出的金剛石薄膜質(zhì)量影響大的問題。本發(fā)明方法為:步驟一、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)采集步驟;二、檢測試樣質(zhì)量;步驟三、制備工藝參數(shù)關(guān)系擬合。本發(fā)明的方法可以提高單晶金剛石的生長質(zhì)量。
聲明:
“微波增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣相沉積中功率-氣壓-溫度耦合方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)