本發(fā)明提供了一種低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備以及低壓化學(xué)氣相沉控制方法。根據(jù)本發(fā)明的低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括:真空泵;采集器;布置在真空泵與收集器之間的主閥門;工藝導(dǎo)管;以及布置在工藝導(dǎo)管中的氣流方向檢測裝置。根據(jù)本發(fā)明的低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備能夠在真空泵突然出現(xiàn)故障時防止工藝副產(chǎn)品的出現(xiàn)、并防止加工中的晶片報廢,因此,所述低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備能夠提高成品率,由此降低工藝成本。