一種工件的化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)、演算系統(tǒng)、及化學(xué)機(jī)械研磨的模擬模型的制作方法。本發(fā)明關(guān)于依據(jù)化學(xué)機(jī)械研磨的實(shí)測資料，將化學(xué)機(jī)械研磨的模擬模型最佳化的網(wǎng)絡(luò)實(shí)體系統(tǒng)(CyberPhysicalSystem)?；瘜W(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)具備：研磨工件(W)的研磨裝置(1)；及演算系統(tǒng)(47)。演算系統(tǒng)(47)具有至少包含輸出包含研磨工件(W)的推定研磨率的推定研磨物理量的物理模型的模擬模型。演算系統(tǒng)(47)構(gòu)成為：將研磨工件(W)的研磨條件輸入模擬模型，并從模擬模型輸出研磨工件(W)的推定研磨物理量，決定使推定研磨物理量接近研磨工件(W)的實(shí)測研磨物理量的模擬模型的模型參數(shù)。