本發(fā)明涉及半導(dǎo)體石英部件表面處理的技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種石英表面化學(xué)粗糙處理方法,其可以有效減少耗費(fèi)時(shí)間,縮短半導(dǎo)體用石英部件表面處理周期;包括以下步驟:(1)預(yù)處理:將所需要進(jìn)行處理的石英部件進(jìn)行表面拋光退火處理,再用去離子水清洗5min;(2)處理液配制:將溶液濃度為40%的分析純氫氟酸和溶液濃度為99%的固體分析純氟化銨混合,然后加入溶液濃度為99.5%的分析純乙酸配制成處理液備用;(3)處理液溫度調(diào)節(jié);(4)反應(yīng)處理:將經(jīng)過預(yù)處理后的石英部件完全浸沒至配制好并經(jīng)過溫度調(diào)節(jié)的處理液中,使石英部件表面逐漸形成均勻的氟硅酸銨附著物;(5)沖洗;(6)重復(fù)加厚;(7)檢測表面粗糙度。
聲明:
“石英表面化學(xué)粗糙處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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